甩干机

SEMITOOL、VERTEQ的甩干机广泛应用于半导体、LED行业

• 冲洗循环
• 干燥周期
• 全自动冲洗

N2加热器可用于冲洗和干洗循环，可以设置10个预设程序，每个程序可以有10个步骤
       • 适用于2~8英寸硅、砷化镓、玻璃等各种材质衬底； 
       • 可方便地更换不同尺寸转子以满足多尺寸用户的需求，无需购买额外的设备； 
       • 98%的uptime，最稳定的半导体设备； 
       • 良好的颗粒度指数和干燥程度。 
       • 每次甩干的纯水消耗量少于3加仑，每次工艺时间不超过7分钟； 
       • 采用更高性能的无刷电机